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一、簡介

實驗室已成功地建立有機半導體相關製程及量測設備,包括:有機材料純化系統,高真空蒸鍍機、濺鍍機,載子移動率之飛行時間式量測系統(TOF),有機發光元件(OLED)元件I-V-L光電量測系統,有機薄膜電晶體(OTFT)電性量測系統,有機太陽能電池(OPVC)量子效率QE/ IPCE量測系統。設備趨於完善,可針對有機材料評估、開發及元件應用做完整且有系統的研究。

二、製程包括

  1. 元件製程設施:如排煙櫃、工作台、冰水機,烘箱,基板清潔設備UVOzone等;

  2. 基礎薄膜沉積設施:旋轉塗佈機

  3. 自行設計及改良用於製作有機光電元件的多功性真空沉積系統,在不破真空下可製作不同條件的元件

  4. 材料純化設施:高真空昇華純化系統

  5. 一般用途之小型真空蒸鍍系統加裝磁控濺鍍模組(濺鍍槍、電源控制器、質流控制器),建立多功能的鍍膜系統

   

 

三、量測包括:

  1. 乾燥手套箱:用於某些製程步驟、材料處理所需之無水、無氧環境,在無水、無氧環境下進行封裝與測試,以及進行對材料或元件之本質穩定度或可靠度的研究。此乾燥手套箱系統具有氣體純化系統(除水、除氧)、乾燥氣體循環系統、水氧含量<1 ppm、具樣品出入傳送腔體。

  1. UV-Vis吸收光譜、螢光磷光光譜儀、低溫系統磷光壽命:研究有機分子在固態、溶液或薄膜光物理特性

  1. OLED元件量測儀器:進行光電特性(電壓、電流、亮度、效率等)之分析。

   

  1. 架設一套飛行時間式電荷傳輸特性量測系統(Time-of-Flight mobility measurement system, TOF):用以研究載子在有機半導體的傳導特性,此系統是國內少數常態運作的TOF系統。

  1. 膜厚量測儀:用於精確量測非破壞性之有機薄膜厚度及光學參數。

  2. 有機太陽能電池量測系統:150W氙燈、分光效率量測模組、電壓電流源,構成一套完整solar cell量測系統。

   

 

 

 
 
 

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2009©Laboratory of Organic Optoelectronics